书目详细信息
： Micron and submicron integrated circuit metrology V.565
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-600-9:￥208.96 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Micron and submicron integrated circuit metrology V.565/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Diego:,SPIE:,1985.8 |
| 载体形态项： | 223页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s annual international technical symposium on optical and optoelectronic applied science and engineering |
| 题名主题： | METROLOGY |
| 题名主题： | OPTICAL METROLOGY |
| 题名主题： | INTEGRATED CIRCUIT (IC) |
| 题名主题： | SCANNING ELECTRON MICROSCOPES |
| 记录来源： | CN 20061127 |