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书目详细信息： Design and process integration for microelectronic manufacturing III V.5756

ISBN/价格：	0-8194-5736-1:RMB440
作品语种：	eng
题名责任者项：	Design and process integration for microelectronic manufacturing III V.5756/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005.3
载体形态项：	438p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050728

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