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书目详细信息： 微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究

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《微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究》

ISBN/价格：	80.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN 220100
题名责任者项：	微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究/.宋文荣著
出版发行项：	长春:,长春光机与物理研究所:,2004.1
载体形态项：	93页:;+图:;+29cm
个人名称等同：	秦冠仕著
记录来源：	CN 20040401

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