书目详细信息
： Optical microlithography XIV V.4346 (part 2-2)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4032-9:元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Optical microlithography XIV V.4346 (part 2-2)/.By SPIE/. |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.2 |
| 载体形态项： | 827-1652页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4346 (part 2-2) |
| 记录来源： | CN 20020331 |