书目详细信息
： Multichamber and in-situ processing of electronic materials V.1188
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0224-9:￥314.18 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Multichamber and in-situ processing of electronic materials V.1188/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1989.10 |
| 载体形态项： | 196页:;+16开 |
| 一般附注： | Symposium on microelectronic integrated processing: growth, monitoring, and control |
| 记录来源： | CN 20061204 |