书目详细信息
： Lithography for semiconductor manufacturing V.3741
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3221-0:￥141.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Lithography for semiconductor manufacturing V.3741/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,1999.5 |
| 载体形态项： | 262页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3741 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3741 |
| 个人名称等同： | SPIE |