书目详细信息
： Optical metrology roadmap for the semiconductor,optical,and data storage industries V.4099
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3744-1:RMB825.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical metrology roadmap for the semiconductor,optical,and data storage industries V.4099/. SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2000.7 |
| 载体形态项： | 328页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. V.4099 |
| 记录来源： | CN 20010320 |