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书目详细信息： Photomask and x-ray mask technology II V.2512

ISBN/价格：	0-8194-1870-6:￥170.00
题名责任者项：	Photomask and x-ray mask technology II V.2512/.SPIE
出版发行项：	Kawasaki city:,SPIE:,1995.4
载体形态项：	554页
一般附注：	SPIE‘s photomask Japan conference
个人名称等同：	SPIE

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