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书目详细信息： Dry etch technology V.1593

ISBN/价格：	0-8194-0724-0:￥401.59
题名责任者项：	Dry etch technology V.1593/.SPIE
出版发行项：	San Jose:,SPIE:,1991.9
载体形态项：	222页:;+16开
一般附注：	SPIE‘s symposium om microelectronic processing integration
个人名称等同：	SPIE

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