书目详细信息
： Emerging Lithographic Technologies IV V.3997
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3615-1:1718.07元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | Emerging Lithographic Technologies IV V.3997/. SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,2000.2 |
| 载体形态项： | 900页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.3997 |
| 记录来源： | CN 2001120 |