书目详细信息
： Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. V.3892
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3493-0:￥151.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics. V.3892/.SPIE |
| 版本项： | 1 |
| 出版发行项： | Royal Pines Resort:,SPIE:,1999.10 |
| 载体形态项： | 394页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. Vol.3892 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE. Vol.3892 |
| 题名主题： | Device for MEMS and Microelectronics |
| 题名主题： | Process Technologies for MEMS and Microelectronics |
| 个人名称等同： | SPIE |
| 记录来源： | 08/14/00 |