书目详细信息
： Metrology,inspection,and process control for microlithography XVI V.4689 (part 2-2)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4435-9:0.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | USA |
| 题名责任者项： | Metrology,inspection,and process control for microlithography XVI V.4689 (part 2-2)/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2002.3 |
| 载体形态项： | 636-1204页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4689 (part 2-2) |
| 记录来源： | CN 20021207 |