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书目详细信息： MOEMS and miniaturized systems VII Vol.6887

ISBN/价格：	0-8194-7062-1:RMB250
作品语种：	eng
题名责任者项：	MOEMS and miniaturized systems VII Vol.6887/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2008.1
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20080704

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