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书目详细信息： 10th Annual symposium on microlithography V.1496

ISBN/价格：	0-8194-0605-8:￥456.92
题名责任者项：	10th Annual symposium on microlithography V.1496/.SPIE
出版发行项：	Sunnyvale hilton:,SPIE:,1990.9
载体形态项：	315页:;+16开
一般附注：	Annual symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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