书目详细信息
： Process module metrology, control, and clustering V.1594
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0725-9:￥530.41 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Process module metrology, control, and clustering V.1594/.SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1991.9 |
| 载体形态项： | 419页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium om microelectronic processing integration |
| 个人名称等同： | SPIE |