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书目详细信息： Microelectronic processes sensors, and controls V.2091

ISBN/价格：	0-8194-1362-5:￥1112.36
题名责任者项：	Microelectronic processes sensors, and controls V.2091/.SPIE
出版发行项：	Monterey:,SPIE:,1993.9
载体形态项：	462页
一般附注：	Microelectronic processing 1993
个人名称等同：	SPIE

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