书目详细信息
： Metrology,inspection,andprocess control for microlithography XXVII Vol.8681(2-1)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-0-8194-9463-4:RMB97 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Metrology,inspection,andprocess control for microlithography XXVII Vol.8681(2-1)/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2013.2 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20130603 |