书目详细信息
： Photomask and next-generation lithography mask technology XVIII Vol.8081
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-0-8194-8673-8:RMB370 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Photomask and next-generation lithography mask technology XVIII Vol.8081/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2011.4 |
| 载体形态项： | multi-stage:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20111122 |