书目详细信息
： Optical metrology roadmap for the semiconductor,optical,and data storage industries II V.4449
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4163-5:882.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Optical metrology roadmap for the semiconductor,optical,and data storage industries II V.4449/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.8 |
| 载体形态项： | 294页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4449 |
| 记录来源： | CN 20020609 |