书目详细信息
： Microlithographic techniques in integrated circuit fabrication II V.4226
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-3898-7:715.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Microlithographic techniques in integrated circuit fabrication II V.4226/.SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2000.11 |
| 载体形态项： | 194页:;+16开 |
| 一般附注： | Proceedings of SPIE v.4226 |
| 记录来源： | CN 20010606 |