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书目详细信息： Advances in resist technology and processing XXI V.5376(part2-1)

ISBN/价格：	0-8194-5289-0:RMB1993.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Advances in resist technology and processing XXI V.5376(part2-1)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.2
载体形态项：	632p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20050110

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