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书目详细信息： Lithography asia 2008 Vol.7140(part 3-3)

ISBN/价格：	0-8194-7381-3:RMB590
作品语种：	eng
题名责任者项：	Lithography asia 2008 Vol.7140(part 3-3)/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2008.11
载体形态项：	multi-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20091208

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