书目详细信息
： 微纳米测量技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-302-13063-9:CNY24.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米测量技术/.王伯雄，陈非凡，董瑛编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2006 |
| 载体形态项： | 223页:;+图:;+23cm |
| 一般附注： | 清华大学微机电系统工程系列教材 |
| 提要文摘： | 本书共分4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；微型传感器的工作原理及其典型应用；微型纳米测量技术中的光学方法，光学测量系统的结构及应用等。 |
| 并列题名： | Metrology for micro- and nanotechnology eng |
| 题名主题： | 纳米技术 测量 高等学校 教材 |
| 个人名称等同： | 王伯雄 编著 |
| 个人名称等同： | 陈非凡 编著 |
| 个人名称等同： | 董瑛 (女， 编著 |
| 记录来源： | CN 20191129 |