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书目详细信息： Optical imaging in projection microlighography TT.66

ISBN/价格：	0-8194-5829-5:RMB714
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical imaging in projection microlighography TT.66/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2005
载体形态项：	254p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20060314

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