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书目详细信息： Photomask and x-ray mask technoloty V.2254

ISBN/价格：	0-8194-1563-4:￥1218.02
题名责任者项：	Photomask and x-ray mask technoloty V.2254/.SPIE
出版发行项：	Kawasaki:,SPIE:,1994.4
载体形态项：	488页
一般附注：	International Photomask Japan‘94
个人名称等同：	SPIE

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