书目详细信息
： Integrated circuit metrology, inspection, and process control V.775
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-810-9:￥270.60 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Integrated circuit metrology, inspection, and process control V.775/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1987.3 |
| 载体形态项： | 329页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 个人名称等同： | SPIE |