书目详细信息
： Rapid thermal and integrated processing V.1595
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0726-7:￥401.59 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Rapid thermal and integrated processing V.1595/.SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1991.9 |
| 载体形态项： | 207页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s 1991 symposium on microelectronic processing integration |
| 个人名称等同： | SPIE |