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书目详细信息： Micromachinging and microfabrication process technology III V.3223

ISBN/价格：	0-8194-2655-5:110.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Micromachinging and microfabrication process technology III V.3223/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1997
载体形态项：	310页:;+16开
记录来源：	CN 20010718

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