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书目详细信息： Optical microlithography IX V.2726 part2-1

ISBN/价格：	0-8194-2102-2:￥205.00
题名责任者项：	Optical microlithography IX V.2726 part2-1/.SPIE
出版发行项：	Santa clara:,SPIE:,1996.3
载体形态项：	441页
一般附注：	Symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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