书目详细信息
： Micromachining and microfabrication process technology V.2639
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2005-0:￥105.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Micromachining and microfabrication process technology V.2639/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin, Texas:,SPIE:,1995.10 |
| 载体形态项： | 336页 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on micromachining and microfabrication |
| 个人名称等同： | SPIE |