书目详细信息
： Metrology, inspection, and process control for microlithography XIX V.5752( part 3-2)
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-5732-94:RMB1500 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Metrology, inspection, and process control for microlithography XIX V.5752( part 3-2)/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2005.3 |
| 载体形态项： | 52-996p:;+ill.:;+29cm |
| 记录来源： | CN 20060104 |