书目详细信息
： Metrology,inspection,and process control for microlithography XV V.4344
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4030-2:1764.00元 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | CN |
| 题名责任者项： | Metrology,inspection,and process control for microlithography XV V.4344/.By SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2001.2 |
| 载体形态项： | 876页:;+16开 |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4344 |
| 记录来源： | CN 20020312 |