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书目详细信息： Advances in resist technology and processing XV V.3333 part 2-2A

ISBN/价格：	0-8194-2778-0:160.00元
作品语种：	chi
出版国别：	CN
题名责任者项：	Advances in resist technology and processing XV V.3333 part 2-2A/.SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,1998
载体形态项：	818-1050页:;+16开
记录来源：	CN 20010719

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