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书目详细信息： Introduction to metrology applications in IC manufacturing TT.101

ISBN/价格：	9781628418118:RMB525
作品语种：	eng
题名责任者项：	Introduction to metrology applications in IC manufacturing TT.101/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2016
载体形态项：	164p:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20161008

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