书目详细信息
： Microlithographic techniques in IC fabrication V.3183
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2610-5:￥85.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Microlithographic techniques in IC fabrication V.3183/.SPIE |
| 出版发行项： | Singapore:,SPIE:,1996.6 |
| 载体形态项： | 264页 |
| 一般附注： | International symposium on microelectronics and assembly |
| 个人名称等同： | SPIE |