书目详细信息
： Optical characterization techniques for semiconductor technology V.276
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-309-3:￥90.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical characterization techniques for semiconductor technology V.276/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1981.4 |
| 载体形态项： | 262页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY |
| 题名主题： | SEMICONDUCTOR MATERIALS |
| 题名主题： | SCATTERING SPECTRUM |
| 题名主题： | MODULATION SPECTROSCOPY |
| 记录来源： | CN 20061115 |