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书目详细信息： 硅外延层中微缺陷

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《硅外延层中微缺陷》

ISBN/价格：	7-:￥0.50
题名责任者项：	硅外延层中微缺陷/.哈尔滨工业大学情报资料室编
版本项：	1
出版发行项：	哈尔滨:,哈尔滨工业大学情报资料室:,1977
载体形态项：	28页:;+16开
个人名称等同：	哈尔滨工业大学情报资料室编
记录来源：	/ /

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