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书目详细信息： Photomask and X-Ray Mask Technology VI. V.3748

ISBN/价格：	0-8194-3230-X:1228.50元
题名责任者项：	Photomask and X-Ray Mask Technology VI. V.3748/.SPIE
出版发行项：	Yokohama:,SPIE:,1999.4
载体形态项：	628页:;+16开
丛编项：	Proceedings of SPIE V.3748

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