书目详细信息
： Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing III V.3213
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-2645-8:￥85.00 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Process, equipment, and materials control in integrated circuit manufacturing III V.3213/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin:,SPIE:,1997.10 |
| 载体形态项： | 270页 |
| 一般附注： | SPIE conference on microlithography and metrology in micromachining |
| 个人名称等同： | SPIE |