书目详细信息
： Optical microlithography III: technology for the next decade V.470
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-89252-505-3:￥110.94 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical microlithography III: technology for the next decade V.470/.by SPIE |
| 出版发行项： | Santa Clara:,SPIE:,1984.3 |
| 载体形态项： | 269页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 题名主题： | OPTICAL LITHOGRAPHY |
| 题名主题： | METROLOGY |
| 题名主题： | PATTERN GENERATORS |
| 题名主题： | AUTOMATIC CONTROL |
| 记录来源： | CN 20061127 |