书目详细信息
： Surface scattering and diffraction for advanced metrology II V.4780
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-4547-9:RMB619.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 题名责任者项： | Surface scattering and diffraction for advanced metrology II V.4780/.by SPIE |
| 出版发行项： | Bellingham:,SPIE:,2002.7 |
| 载体形态项： | 186p:;+28cm |
| 丛编项： | Proceedings of SPIE V.4780 |
| 记录来源： | CN 20030425 |