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书目详细信息： MOEMS and miniaturized systems XI Vol.8252

ISBN/价格：	978-0-8194-8895-4:RMB510
作品语种：	eng
题名责任者项：	MOEMS and miniaturized systems XI Vol.8252/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2012.1
载体形态项：	amulti-stage:;+ill.:;+29cm
记录来源：	CN 20120820

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