书目详细信息
： Integrated circuit metrology, inspection, and process control IV V.1261
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0308-3:￥418.91 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Integrated circuit metrology, inspection, and process control IV V.1261/.by SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1990.3 |
| 载体形态项： | 528页:;+16开 |
| 一般附注： | SPIE‘s symposium on microlithography |
| 记录来源： | CN 20061204 |