ISBN/价格: | 0-8194-3089-7:¥64.00 |
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题名责任者项: | Surface characterization for computer disks,wafers,and flat panel displays V.3619/.SPIE |
版本项: | 1 |
出版发行项: | Bellingham:,SPIE:,1999.1 |
载体形态项: | 136页:;+16开 |
丛编项: | Proceedings of SPIE V.3619 |
丛编项: | Proceedings of SPIE V.3619 |
一般附注: | 计算机磁盘、硅片、平板显示器的表面特征 |
个人名称等同: | SPIE |