| ISBN/价格: | 0-8194-3089-7:¥64.00 |
|---|---|
| 题名责任者项: | Surface characterization for computer disks,wafers,and flat panel displays V.3619/.SPIE |
| 版本项: | 1 |
| 出版发行项: | Bellingham:,SPIE:,1999.1 |
| 载体形态项: | 136页:;+16开 |
| 丛编项: | Proceedings of SPIE V.3619 |
| 丛编项: | Proceedings of SPIE V.3619 |
| 一般附注: | 计算机磁盘、硅片、平板显示器的表面特征 |
| 个人名称等同: | SPIE |