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书目详细信息： Optical micro-and nanometrology in manufacturing technology V.5458

ISBN/价格：	0-8194-5380-3:RMB855.00
作品语种：	eng
题名责任者项：	Optical micro-and nanometrology in manufacturing technology V.5458/.by SPIE
出版发行项：	Bellingham:,SPIE:,2004.4
载体形态项：	300p:;+ill.:;+28cm
记录来源：	CN 20050114

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