书目详细信息
： Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing V
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1670-3:￥802.46 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing V.2337/.SPIE |
| 出版发行项： | Austin, Texas:,SPIE:,1994.10 |
| 载体形态项： | 202页 |
| 一般附注： | SPIE‘s international microelectronic manufacturing ‘94 symposium |
| 个人名称等同： | SPIE |