书目详细信息
： Integrated circuit metrology, inspection, and process control VIII V.2196
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-1491-3:￥1362.64 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Integrated circuit metrology, inspection, and process control VIII V.2196/.SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1994.2 |
| 载体形态项： | 553页 |
| 一般附注： | SPIE symposium on microlithography |
| 个人名称等同： | SPIE |