书目详细信息
： Vibration control in microelectronics, optics and metrology V.1619
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 0-8194-0757-7:￥530.41 |
|---|---|
| 题名责任者项： | Vibration control in microelectronics, optics and metrology V.1619/.SPIE |
| 出版发行项： | San Jose:,SPIE:,1991.11 |
| 载体形态项： | 369页:;+16开 |
| 一般附注： | International conference on vibration control in optics and metrology |
| 个人名称等同： | SPIE |