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书目详细信息： Optical/laser microlithography III V.1264

ISBN/价格：	0-8194-0311-3:￥418.91
题名责任者项：	Optical/laser microlithography III V.1264/.by SPIE
出版发行项：	San Jose:,SPIE:,1990.3
载体形态项：	586页:;+16开
一般附注：	SPIE‘s symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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