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书目详细信息： Optical microlithography VI V.772

ISBN/价格：	0-89252-807-9:￥270.60
题名责任者项：	Optical microlithography VI V.772/.by SPIE
出版发行项：	Santa Clara:,SPIE:,1987.3
载体形态项：	292页:;+16开
一般附注：	SPIE‘s symposium on microlithography
个人名称等同：	SPIE

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